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一鍵批量分析白光干涉測頭,是一款非接觸式精密光學(xué)測頭，其基于白光干涉和精密掃描研制而成，主要由光學(xué)干涉系統(tǒng)和Z向掃描系統(tǒng)組成，具有體積小、重量輕、便攜的特點

白光干涉儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。原理：非接觸、三維白光掃描干涉儀

白光干涉測頭 主要特點：便攜可搭載 一鍵批量分析 生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司

?SuperViewW1三維白光干涉形貌儀支持納米級高度測量，0.4μm級別的線寬測量，最大支持80倍的槽深寬比測量，具備點、線、面相關(guān)的寬度、高度、角度、直徑等各類輪廓尺寸測量功能。

SuperViewW3大尺寸微觀形貌儀白光干涉測量各種產(chǎn)品、部件和材料表面的粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、高?？蒲性核阮I(lǐng)域中。

中圖儀器W1國產(chǎn)白光干涉儀可以對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。