中圖儀器W1國(guó)產(chǎn)白光干涉儀光源發(fā)出的光經(jīng)過(guò)擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束，一束經(jīng)被測(cè)表面反射回來(lái)，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光終匯聚并發(fā)生干涉，顯微鏡將被測(cè)表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號(hào)，通過(guò)測(cè)量干涉條紋的變化來(lái)測(cè)量表面三維形貌。

產(chǎn)品功能

1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能；

2）測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能；

3）測(cè)量中提供自動(dòng)拼接測(cè)量、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能；

4）分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

6）分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

中圖儀器W1國(guó)產(chǎn)白光干涉儀可以對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測(cè)量系統(tǒng)，保證測(cè)量精度高。

產(chǎn)品配置清單

標(biāo)準(zhǔn)配置

1)SuperView W1主機(jī)

2)影像系統(tǒng)：1024×1024

3)光學(xué)Zoom：0.5×

4)干涉物鏡：10×

5)XY位移載物臺(tái)：自動(dòng)位移臺(tái)

6)DELL品牌計(jì)算機(jī)

7)4.7μm  Z向校準(zhǔn)臺(tái)階塊

8)操縱手柄

9)中圖W1光學(xué)3D表面輪廓儀軟件

10)自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量、自動(dòng)拼接測(cè)量功能模塊

11)電氣控制柜

12)TGY30-680-30L無(wú)油空壓機(jī)

13)儀器工作臺(tái)

14)儀器配件箱

15)加壓充氣裝置一套

16)產(chǎn)品使用說(shuō)明書(shū)

17)產(chǎn)品合格證、保修卡

可選配置

1）干涉物鏡：2.5×、5×、20×、50×、100×

2）光學(xué)zoom：0.75×、1×；

3）真空吸附臺(tái)（尺寸可定制）：4寸、6寸;

4）5孔電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)；

5）隔振外殼（1043㎜×1120㎜×1630㎜）