中圖儀器SuperViewW0.1nm級分辨率光學(xué)3D表面輪廓儀形貌重復(fù)性低至0.1nm，粗糙度RMS重復(fù)性0.005nm，臺階測量準(zhǔn)確度僅0.3%，搭配氣浮隔振底座與0.1nm分辨率環(huán)境噪聲評價，復(fù)雜車間環(huán)境也能穩(wěn)定輸出精準(zhǔn)數(shù)據(jù)。它能一站式解決超精密測量精度不足、多材質(zhì)適配難、批量檢測效率低等測量難題。應(yīng)用覆蓋半導(dǎo)體、3C電子等多行業(yè)場景，數(shù)據(jù)驅(qū)動檢測，賦能精密制造升級。

一、產(chǎn)品功能

1.自動化測量：操縱桿便捷操控，Mark點(diǎn)自動定位校正，單/多區(qū)域一鍵掃描分析。

2.數(shù)據(jù)處理：去噪、濾波等四大模塊+五大分析功能，支持定制化模板批量處理。

3.安全保障：雙重鏡頭防撞+光源自動熄燈設(shè)計，設(shè)備損耗率降低40%。

4.靈活配置：10×干涉物鏡（可選2.5×-100×），320×200mm載物臺適配不同尺寸工件。

二、自研3D顯微測量軟件平臺

Xtremevision Pro全自主開發(fā)的第二代顯微3D測量軟件平臺，集成了圖像掃描、3D分析、影像測量、自動化測量等四個大的功能模塊，能夠適配中圖W系列、VT系列、WT系列所有3D儀器機(jī)型，可自主識別機(jī)型種類，二合一機(jī)型可在白光干涉和共聚焦顯微鏡中做到自動切換掃描模式。

Xtremevision Pro 移植了中圖在影像閃測領(lǐng)域的成功經(jīng)驗，重構(gòu)了顯微影像測量功能，可針對微觀平面輪廓尺寸的點(diǎn)、線間的距離、角度、半徑等參數(shù)進(jìn)行直接測量和自動匹配測量。

1.自動化mark點(diǎn)識別坐標(biāo)定位自動化功能

Mark點(diǎn)影像識別自動坐標(biāo)位置校正，多區(qū)域坐標(biāo)點(diǎn)自動定位測量與分析，可組合式完成粗糙度、輪廓尺寸的批量自動化測量。

2.自動拼接功能

支持方形、圓形、環(huán)形和螺旋形式的自動拼接測量功能，配合影像導(dǎo)航功能，可自定義測量區(qū)域，支持?jǐn)?shù)千張圖像的無縫拼接測量。

三、產(chǎn)品特點(diǎn)

1.全場景覆蓋

單一掃描模式適配超光滑到粗糙、鏡面到全透明/黑色材質(zhì)，從納米到微米級工件的粗糙度、平整度、微觀輪廓等參數(shù)均可精準(zhǔn)測量，無需更換設(shè)備即可滿足多類產(chǎn)品檢測需求。

2.高精度+大范圍雙突破

復(fù)合型EPSI重建算法解決傳統(tǒng)技術(shù)瓶頸，自動拼接功能支持方形、圓形等多種模式，數(shù)千張圖像無縫拼接，超光滑凹面弧形掃描也能實(shí)現(xiàn)無重疊縫隙重建。

3.高效自動化降本增效

一鍵完成單/多區(qū)域自動測量、批量分析，編程測量功能可預(yù)設(shè)流程實(shí)現(xiàn)一鍵操作，單個精細(xì)器件測量用時短，大幅提升檢測 throughput。

四、應(yīng)用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

SuperViewW0.1nm級分辨率光學(xué)3D表面輪廓儀以0.1nm級分辨率、8μm/s掃描速度、300+種標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)，為精密制造、科研檢測等領(lǐng)域提供高精度+高效率+高適配的3D表面測量解決方案。如需獲取行業(yè)定制化方案、產(chǎn)品演示視頻或免費(fèi)樣品測試，歡迎聯(lián)系中圖儀器。

懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實(shí)際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。