微觀細(xì)節(jié)捕捉不足？大區(qū)域測量斷層、數(shù)據(jù)重復(fù)性差？中圖儀器共聚焦顯微鏡（VT6000系列）3D+2D全維測量材料表面的粗糙度、微觀形貌、幾何輪廓等參數(shù)，包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，一臺設(shè)備滿足多維度檢測需求

一、有哪些產(chǎn)品功能？

1.3D+2D全維測量

同步實(shí)現(xiàn)微觀3D形貌表征與長度、角度、半徑等二維尺寸測量，一臺設(shè)備滿足多維度檢測需求。

2.大行程靈活適配

VT6100（100×100mm）、VT6200（200×200mm）、VT6300（300×300mm）三款型號，覆蓋不同尺寸工件，其中VT6300搭載12英寸真空吸盤，適配超大工件穩(wěn)定測量。

3.智能化高效處理

調(diào)整、糾正、濾波、提取四大數(shù)據(jù)模塊+五大分析工具，支持自定義模板，批量文件快速分析，數(shù)據(jù)自動(dòng)生成統(tǒng)計(jì)圖表。

4.便捷安全操作

X/Y/Z三軸集成操縱桿，速度、光源亮度一鍵調(diào)節(jié)；Z軸機(jī)械電子傳感器+鏡頭彈簧結(jié)構(gòu)，雙重防撞，消除人為操作風(fēng)險(xiǎn)。

二、有哪些核心價(jià)值？

1.精度碾壓行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

高度測量精度≤(0.2+L/100)μm，重復(fù)性≤12nm；寬度測量精度±2%，重復(fù)性≤40nm，數(shù)據(jù)可追溯，大幅降低返工率。

2.效率倍增降本

一鍵批量分析+自動(dòng)拼接功能，大區(qū)域檢測無需拆分，對比傳統(tǒng)設(shè)備效率提升30%以上，減少人力投入。

3.全場景適配

覆蓋納米到微米級測量，兼容光滑/粗糙、低/高反射率材質(zhì)，支持ISO/ASME/EUR/GBT四大標(biāo)準(zhǔn)300余種2D/3D參數(shù)檢測。

4.穩(wěn)定耐用更省心

雙重防撞保護(hù)+光源智能節(jié)能設(shè)計(jì)，鏡頭碰撞自動(dòng)急停，光源無人值守自動(dòng)熄滅，設(shè)備使用壽命延長20%。

三、應(yīng)用案例

1.半導(dǎo)體行業(yè)：為頭部晶圓制造企業(yè)提供VT6300設(shè)備，檢測激光燒蝕槽道幾何輪廓，重復(fù)性≤12nm，助力封裝良率提升18%；

2.3C電子行業(yè)：為玻璃屏廠商適配VT6200，200×200mm全域平面度測量效率提升40%，人力成本減少2/3；

3.科研院所：為MEMS器件研發(fā)提供VT6100，支持復(fù)雜微結(jié)構(gòu)3D參數(shù)分析，加速技術(shù)轉(zhuǎn)化周期。

中圖儀器共聚焦顯微鏡助您降低返工成本、縮短生產(chǎn)周期，節(jié)省人力開支！如需獲取對應(yīng)行業(yè)定制方案、型號參數(shù)對比表或免費(fèi)樣品測試，歡迎直接咨詢客服。

注：產(chǎn)品參數(shù)與配置以實(shí)際交付為準(zhǔn)，廠家保留根據(jù)技術(shù)升級調(diào)整相關(guān)內(nèi)容的權(quán)利，恕不另行通知。