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SJ5100接觸式光柵測(cè)長(zhǎng)機(jī)采用進(jìn)口高精度光柵測(cè)量系統(tǒng)、高精密研磨直線導(dǎo)軌、高精度溫度補(bǔ)償系統(tǒng)、雙向恒測(cè)力系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)各種長(zhǎng)度參數(shù)的高精度測(cè)量。在半導(dǎo)體制造行業(yè)中，可以用來(lái)測(cè)量芯片線寬和間距等微小尺寸參數(shù)。

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