SuperView W1系列中圖儀器白光干涉儀設(shè)備以亞納米級測量精度、全場景適配能力與自動化高效操作，在精密制造、半導(dǎo)體、3C電子等領(lǐng)域一站式解決超精密測量精度不足、多材質(zhì)適配難、批量檢測效率低等測量難題。它以0.1nm級分辨率、8μm/s掃描速度、300+種標(biāo)準(zhǔn)參數(shù)，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

一、產(chǎn)品優(yōu)勢

1.超高精度，數(shù)據(jù)可追溯

基于白光干涉技術(shù)，形貌重復(fù)性低至0.1nm，粗糙度RMS重復(fù)性僅0.005nm，臺階測量準(zhǔn)確度達(dá)0.3%。搭配0.1nm分辨率環(huán)境噪聲評價與氣浮隔振底座，即便在車間振動環(huán)境中，也能輸出穩(wěn)定可靠的數(shù)據(jù)，滿足ISO/ASME等300余種國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)要求。

2.高效自動化，降本增效

W1-Ultra型號在0.1nm分辨率下掃描速度高達(dá)8μm/s，單區(qū)域、多區(qū)域測量一鍵啟動，批量樣品可通過編程預(yù)設(shè)流程實現(xiàn)自動化檢測。某3C電子代工廠應(yīng)用后，檢測效率提升60%，日均處理樣品量從300件增至480件，人力成本降低30%。

3.全場景適配，無需頻繁換設(shè)備

單一掃描模式覆蓋超光滑到粗糙、鏡面到全透明/黑色材質(zhì)，10mm Z向掃描范圍搭配方形、圓形等多種自動拼接模式，支持?jǐn)?shù)千張圖像無縫拼接，輕松應(yīng)對半導(dǎo)體研磨件、3C玻璃屏、光學(xué)元件等不同類型工件的測量需求。

4.自研軟件，適配性更強

Xtremevision Pro第二代3D測量軟件，可自動識別中圖W/VT/WT系列機型，支持白光干涉與共聚焦模式自由切換，能直接測量微觀平面輪廓的距離、角度等參數(shù)，搭配批量分析與多格式報表導(dǎo)出功能，適配質(zhì)檢存檔與工藝優(yōu)化全流程。

二、重點行業(yè)應(yīng)用

1.半導(dǎo)體制造及封裝：精準(zhǔn)測量硅晶片研磨減薄后的表面粗糙度、光刻槽道形貌，某頭部半導(dǎo)體企業(yè)應(yīng)用后，工藝良率提升8%，檢測數(shù)據(jù)與國際標(biāo)準(zhǔn)樣塊偏差＜0.1%。

2.3C電子：適配手機玻璃屏粗糙度檢測、金屬殼模具瑕疵識別、油墨屏高度差測量，批量檢測無需重復(fù)調(diào)試，報表自動導(dǎo)出（Word/Excel/PDF），滿足企業(yè)質(zhì)檢標(biāo)準(zhǔn)化需求。

3.光學(xué)加工：針對納米臺階、光學(xué)元件表面粗糙度測量，實現(xiàn)916.5nm臺階高度精準(zhǔn)量化，助力某光學(xué)廠商降低產(chǎn)品返工率12%。

4.汽車零部件與MEMS器件：檢測精密齒輪磨損情況、軸承孔隙間隙，在復(fù)雜車間環(huán)境中保持?jǐn)?shù)據(jù)穩(wěn)定，某車企將零部件質(zhì)檢周期從1.5小時縮短至40分鐘。

應(yīng)用領(lǐng)域圖片

三、核心功能精簡

1.自動化測量：操縱桿集成XYZ軸控制、速度調(diào)節(jié)等功能，Mark點自動定位校正，批量樣品測量無需人工值守。

2.數(shù)據(jù)處理與分析：內(nèi)置去噪、濾波等四大處理模塊，涵蓋粗糙度、幾何輪廓等五大分析功能，支持定制化模板批量分析。

3.安全與穩(wěn)定：雙重鏡頭防撞保護(hù)+光源無人值守自動熄燈設(shè)計，降低設(shè)備損耗；氣浮隔振底座隔絕地面振動，確保測量精度。

4.靈活配置：標(biāo)配10×干涉物鏡（可選2.5×-100×），320×200mm載物臺適配不同尺寸工件，滿足多樣化檢測需求。

SuperView W1系列中圖儀器白光干涉儀設(shè)備以高精度、高效率、高適配的核心優(yōu)勢，為精密制造、科研檢測等領(lǐng)域提供一站式測量解決方案。如需獲取產(chǎn)品演示視頻、行業(yè)定制化方案或免費樣品測試，歡迎隨時聯(lián)系。

（注：產(chǎn)品參數(shù)可能根據(jù)技術(shù)升級實時更新，具體以最新配置為準(zhǔn)，詳情可咨詢客服獲取完整資料。）