激光干涉儀是利用激光的相干性原理來測(cè)量物體長度、形狀、位移、表面形貌等參數(shù)的一種設(shè)備。它的原理基于兩束不同頻率的激光交叉干涉形成的干涉圖案來測(cè)量目標(biāo)物體的形態(tài)和位移。
 

　　當(dāng)兩束激光束脫離相干性時(shí)，干涉圖案將隨時(shí)間變化，因此，通常采用各種技術(shù)來保持兩束激光束相干性。比如，在單模激光中采取模式鎖定技術(shù)，使得兩束激光頻率的差值恒定。這兩束頻率相差很小時(shí)，它們的束面之間的相干長度較小，因此，當(dāng)一束激光束照射到物體表面時(shí)，其反射光與另一束激光束反射光形成干涉圖案。
 

　　激光干涉儀的應(yīng)用：
 

　　1. 長度、位移和形狀測(cè)量
 

　　可以測(cè)量目標(biāo)物體的長度、位移和形狀等物理量。例如，在制造業(yè)中，可以測(cè)量特定零件的大小和形狀，以確保它們與設(shè)計(jì)規(guī)格相符。此外，還被應(yīng)用于材料力學(xué)和結(jié)構(gòu)工程中的位移測(cè)量，幫助工程師了解建筑物和其他結(jié)構(gòu)的變形和穩(wěn)定性。
 

　　2. 表面形貌測(cè)量
 

　　還可以用于表面形貌測(cè)量，比如，可以實(shí)現(xiàn)微米級(jí)精度的表面粗糙度測(cè)量。這種技術(shù)被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和光學(xué)器件生產(chǎn)領(lǐng)域，以確保產(chǎn)品達(dá)到所需的表面平整度和表面處理質(zhì)量。
 

　　3. 光學(xué)元件測(cè)試
 

　　也被廣泛應(yīng)用于光學(xué)元件的測(cè)試，比如，它可以用于光學(xué)鏡頭的定位和旋轉(zhuǎn)測(cè)量，以及光學(xué)元件的形狀精度檢測(cè)和表面質(zhì)量測(cè)量。
 

　　總之，激光干涉儀作為一種高精度的測(cè)量設(shè)備，被廣泛應(yīng)用于制造業(yè)、工程研究和科學(xué)實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域。其原理基于激光的相干性，可以實(shí)現(xiàn)目標(biāo)物體的長度、位移、形狀和表面形貌等物理量的測(cè)量。