該儀器廣泛應(yīng)用于機械加工、電機、汽車零部件、摩托車零部件、精蜜五金、精蜜工具、刀具、模具、光學(xué)元件等行業(yè)。適用于科研院所、大專院校、計量機構(gòu)、企業(yè)計量室、車間?？蓽y量軸承、滾針、活塞、閥門、閥門、齒輪、滾子、電機軸、曲軸、圓柱銷、活塞銷、油泵噴嘴、液壓件、氣動件、紡織機械配件等。

　　三維表面輪廓儀的主要功能有哪些呢？

　　1、在被測表面反射率R=4%～100%范圍內(nèi)，可獲得理想的真彩色白光干涉圖，干涉圖質(zhì)量不低于國外同類產(chǎn)品。只有80%的國外類似儀器被迫停止測試。

　　2、測試各種表面粗糙度，包括：純金屬光滑表面、光學(xué)表面、化合物半導(dǎo)體涂層表面、聚合物和聚合物塑料表面、薄石墨層表面、精蜜機械表面等。測試范圍RA=0.001μM至0.2μM

　　3、將被測表面準(zhǔn)確調(diào)整到主表面水平內(nèi)，表面粗糙度輪廓以輕微色差顯示。這是國際雜志報道的利用白光干涉檢測薄表面和超薄表面的有效方法。

　　4、使用真彩色白光和黑色干涉條紋移動，1）恢復(fù)薄膜和基板之間過渡區(qū)域的3D形態(tài)，2）測試薄膜厚度，3）測試過渡區(qū)域的上升陡度。

　　5、通過干涉條紋判斷光學(xué)球面的表面加工質(zhì)量。

　　6、通過移動真彩色白光和黑色干涉條紋來測量表面缺陷的深度和寬度。

　　7、壓電陶瓷疊層PZT用于深度掃描幾十層，以恢復(fù)表面三維輪廓。

　　三維表面輪廓儀采用非接觸測量技術(shù)，具有亞納米級測量精度（在所有放大倍數(shù)下），可以更快更好地測量各種樣品表面。這是一種回報率非常高的產(chǎn)品。滿足各種應(yīng)用的需要，包括平面度，粗糙度和波紋度，薄膜和臺階高度，它幾乎適用于任何材料表面。