形貌儀的校準(zhǔn)方法，學(xué)會了嗎？

更新時間：2021-10-19 點擊次數(shù)：1188

　　形貌儀其實就是三維表面形貌測量設(shè)備，采用白光共聚焦技術(shù)，可實現(xiàn)對材料表面從納米到毫米量級的粗糙度測試，具有測量精度高，速度快，重復(fù)性好的優(yōu)點。該儀器包含一個手持式光學(xué)測量頭和便攜式電腦，在5mm×5mm范圍內(nèi)對x及y方向各進(jìn)行高達(dá)1500次的測量，從而得出平均數(shù)值及標(biāo)準(zhǔn)偏差。同時，設(shè)備的軟件還可進(jìn)一步評估特定范圍內(nèi)材料表面的性能。該儀器擁有封閉式設(shè)計，因此其測量結(jié)果重復(fù)性和再現(xiàn)性高。

　　產(chǎn)品原理是采用白光共聚焦色差技術(shù)，利用白光點光源，光線經(jīng)過透鏡后產(chǎn)生色差，不同波長的光分開后入射到被測樣品上。位于白光光源的對稱位置上的超靈敏探測器系統(tǒng)用來接收經(jīng)被測點漫反射后的光。根據(jù)準(zhǔn)共聚焦原理，探測器系統(tǒng)只能接收到被測物體上單點反射回來的特定波長的光，從而得到這個點距離透鏡的垂直距離。再通過點掃描的方式可得到一條線上的坐標(biāo)，即X-Z坐標(biāo)，以S路徑獲得物體每個點的三維X-Y-Z坐標(biāo)。將采集的三維坐標(biāo)數(shù)據(jù)交給三維處理軟件進(jìn)行各種表面參數(shù)的分析。

　　形貌儀的校準(zhǔn)方法：

　　1、三維形貌校準(zhǔn)：這一校準(zhǔn)都和形貌測量的“高度”結(jié)果相關(guān)，所以稱為三維校準(zhǔn)。主要包括對干涉物鏡參考面形貌誤差的標(biāo)定；以及使用標(biāo)準(zhǔn)臺階塊對臺階高度測試精度校準(zhǔn)。

　　2、二維光強校準(zhǔn)：這一校準(zhǔn)和成像視場范圍內(nèi)的“光強”信號相關(guān)。設(shè)備有一些功能，可以增強用戶對樣品表面觀察效果。比如在某觀測模式下，可以自動去除視場中黑白條紋，更清楚地觀測表面紋理；真彩模式可以復(fù)現(xiàn)表面彩色信息。

　　由于以上功能相關(guān)標(biāo)定都只涉及“光強”，不涉及到形貌高度，所以稱為二維光強校準(zhǔn)。

　　3、橫向校準(zhǔn)：形貌儀這一校準(zhǔn)是為了標(biāo)定在當(dāng)前設(shè)置下，每個像素在橫向上代表的尺寸大小。